潔凈室分類的原因：

(1)潔凈室的定義

潔凈室，又稱潔凈室或潔凈室。

潔凈室是指為消除一定空間范圍內空氣中的顆粒物、有害空氣、細菌等污染物，將室內溫度、潔凈度、室內壓力、風速和氣流組織、噪聲和振動、照明、靜電等控制在一定需求范圍內而專門設計的房間。也就是說，無論外界空氣條件如何變化，房間都能具有保持原有的潔凈度、溫度、濕度、壓力等性能的特性。

潔凈室最重要的功能是控制產品(如硅片等)所處環境的潔凈度和溫濕度。)都是暴露的，這樣產品就可以在一個良好的環境空間里生產制造，我們稱之為潔凈室。

潔凈室等級劃分的原因：(2)潔凈室等級

世界各國都有自己定義的規范，但一般以美國聯邦標準209為最。

美國聯邦標準FS 209D采用英制每立方英尺，日本采用公制，即單位為每立方米，以0.1m顆粒為計數標準。日本標準符號由1級、2級、3級表示.八班。成績最好的是1班，最差的是8班。它是將每立方米的塵粒總數換算成10的次方，取其指數而得。

潔凈室分類的理由：(3)潔凈室控制項目

1.清除空氣中的灰塵顆粒。

2.它可以防止灰塵顆粒的產生。

3.溫度和濕度控制。

4.壓力調節。

5.消除有害氣體。

6.結構和隔間的氣密性。

7.靜電防護。

8.防止電磁干擾。

9.安全考慮。

10.節能的考慮。

潔凈室分類的理由：(4)潔凈室的分類

1.亂流：空氣從空調箱通過潔凈室的風管和空氣過濾器進入潔凈室，由潔凈室兩側的隔斷墻板或高架地板回流。氣流以非線性方式運動，并處于不規則的湍流或渦流狀態。該類型適用于1000-100000級潔凈室。

2.分層流動：分層氣流成均勻直線流動，空氣通過覆蓋率為100%的過濾器進入室內，由兩側高架地板或隔板返回。該類型適用于潔凈室級別需要較高的環境，一般潔凈室級別為1~100級。它可以分為兩種類型：

(1)水平層流：水平空氣從過濾器向一個方向吹出，由對面墻上的回風系統送回。粉塵隨風向外排放，下游側污染普遍嚴重。

(2)垂直層流：房間天花板完全覆蓋一層過濾網，空氣自上而下吹，可以獲得更高的潔凈度。在過程中或由工人產生的灰塵可以快速排出到外面，而不影響其他工作區域。

3.復合類型：

復合型是湍流和層流的結合或組合，可以提供局部超凈空氣。

(1)潔凈隧道：HEPA或ULPA過濾器100%覆蓋工藝區或工作區，可將潔凈度提高到10級以上，節省安裝和運行費用。這種類型需要將操作人員的工作區域與產品和機器的維修分開，避免在機器維修過程中影響工作和質量。這種類型主要用于ULSI工藝。

(2)清潔管道：對產品流經過的自動化生產線進行環繞凈化，將潔凈度等級提高到100以上。由于產品與工人和多塵環境隔離，少量送風即可達到良好的潔凈度，節約能源，不需要人工操作的自動化生產線最適合使用。適用于制藥、食品和半導體行業。

(3)并聯安裝局部潔凈室：潔凈室級別為10000 ~ 100000的湍流潔凈室中產品工藝區潔凈度級別提高到10 ~ 1000以上用于生產；潔凈工作臺、潔凈工棚、潔凈空氣柜都屬于這一類。