“潔凈室”是指為清除一定空間范圍內空氣中的顆粒、有害空氣、細菌等污染物,將室內溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度及分布、噪聲、振動、照明、靜電等控制在一定需求范圍內而專門設計的房間。也就是說,無論外界空氣條件如何變化,房間都能具有保持原有設定要求的潔凈度、溫度、濕度、壓力等性能的特性。
潔凈室最重要的功能是控制產品(如硅片等)所處環境的潔凈度、溫度和濕度。)都是暴露的,這樣產品就可以在一個良好的環境空間里生產制造,我們稱之為“潔凈室”。
潔凈室控制:可以防止灰塵顆粒的產生;以及溫度和濕度控制;消除有害氣體;防止靜電。
潔凈室的分類
1.亂流:空氣從空調箱通過潔凈室的風管和空氣過濾器進入潔凈室,由潔凈室兩側的隔斷墻板或高架地板回流。氣流以非線性方式運動,并處于不規則的湍流或渦流狀態。
2.地層流:水平層流:水平空氣從過濾器一個方向吹出,由對面墻上的回風系統送回,粉塵隨風向外排出,下游側污染普遍嚴重;垂直氣流:房間天花板完全覆蓋ULPA過濾網,空氣自上而下吹,可以獲得更高的潔凈度,過程中或工作人員。
3.復合型是湍流和層流的結合或組合,可以提供局部超凈空氣。