潔凈室的氣流速度/換氣次數一直是潔凈室設計中關注的問題。隨著潔凈室污染源控制效果和最終過濾器效率的提高，關于相關規范和導則的推薦值或參考值是否偏于保守的討論已有很多。FFU在應用中人們所擔心的噪音、損壞、維護等問題在實踐中得到了解決。隨著FFU的不斷提高，是否采用FFU回風系統也是一個熱點：懸浮分子污染(AMC)的控制在微電子和IC行業已經越來越被提上日程并受到關注。以下是對這些問題的總結和分析。

在具有一定潔凈度的潔凈室中，氣流速度的確定隨著潔凈室的使用而變化。它不僅受室內粉塵排放和過濾效率的影響，還受其他因素的影響。就工業潔凈室而言，影響潔凈度和氣流速度選擇的主要因素有：

(1)室內污染源：建筑構件、人員數量和操作活動、工藝設備、工藝材料和工藝本身都是塵粒釋放的來源，根據具體情況變化較大；

(2)室內氣流形態和分布：單向流動要求流線均勻、均等，但會受到工藝設備的布置和位置變化、人員活動等因素的干擾。形成局部渦流；非單向流動需要填充和混合，以避免死角和溫度分層。